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    1. FT-CZ1400Si

      硅部件級單晶爐

      拉晶過程全程自動化

      在惰性氣體環境中,用石墨加熱器將硅材料熔化,

      用直拉法生長無位錯單晶的設備。

       

      性能優勢

       大直徑設計結構:匹配大直徑單晶硅棒生長所需空間。

      可采用連續加料裝置。

      采用超低碳不銹鋼材料,結構穩定。

      12英寸硅部件級單晶爐
      型號  FT-CZ1400Si
      場所 周圍溫度 15~30℃
      周圍濕度 ≤65%(無結露,腐蝕氣體)
      潔凈度 一般環境水平
      噪音 ≤75db
      地基 3000kg/㎡以上
      電源 額定電壓 3P 380VAC±10%  50/60Hz
      額定電容 350kVA(主副合算)
      額定流量 530A(主副合算)
      冷卻水 流量范圍 350~400L/min
      供給壓力 0.3~0.5MPa
      重量 設備高度 <8800mm                                                                              △   
      設備重量 約15T

       

       

      △ 項數據視上爐筒高度而定,本設備數據不含磁場。

      全國熱線

      021-36162928

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